Your browser does not support JavaScript!
核子工程與科學研究所
歡迎光臨~核子工程與科學研究所
半導體製程與量測實驗室
半導體製程與量測實驗室

分機:42674
位置:
參與教授:張廖貴術
參考連結:http://www2.ess.nthu.edu.tw/~lkschang

研究方向

矽半導體元件製程組、元件可靠性量測組、先進元件模擬組,FLASH記憶體開發組

設備

半導體特性參數量測分析儀(HP 4156B、HP 4145B)、方波產生器(HP 8110A)、任意波形產生器(Agilent 33250A)、 低漏電流開關控制器(Agilent E5250A)、以及整套完整的C-V量測檢測系統(Keithley C-V Analyzer)6台專用個人電腦、ICS自動化量測軟體、Sun Bland 1500工作站兩台,Medici、TSUPREM-4等元件模擬軟體...等。 為現今國內首屈一指的半導體實驗室。